第54章 王总工“授课”(2)(第2/2 页)
点。
利用该技术再配上‘超紫外光’能发挥出更大的工作能效。
第二个部分是:场像对准技术。
这种方法也叫视频图像处理对准技术(field image alignment,FIA),是指在光刻套刻的过程中,掩模图样与硅片基板之间基本上只存在相对旋转和平移,充分利用这一有利条件,结合机器视觉映射技术,利用相机采集掩模图样与硅片基板的对位标记信号。
国际上其光源一般是宽带的卤素灯,波长在550~800nm。
但是我对这个技术进行了优化调整,我们将会使用波长更为合适的蓝紫外光,同这样的调整,该技术相对于其他的对准方式其具有对准精度高、结构简单、可操作性强、效率高的优势。
第三个部分是:双焦点对准方法。
这是星条旗国路易斯安那州立大学M.Feldman等人设计的双焦点物镜对准系统,是针对一般情�
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